近日,半导体主要设备和工艺技术的供应商亚微纳技术公司,发布世界上第一个可用于300毫米的离子束沉积系统StratIon™ fxP。首套系统已被送至法国格勒诺布尔市电子工学和自旋电子工学研究中心投入应用。 StratIon™ fxP将被用于开发下一世代立基于磁隧道接合(MTJ)的器件之应用,其范围包括磁阻式随机存储器(MRAM)、硬盘驱动读取头或射频元件。
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